壓力傳感器使用了哪些技術(shù)？

壓力傳感器可包含幾個(gè)類似的應(yīng)變儀元件

1.應(yīng)變壓力傳感器

應(yīng)變計(jì)或箔規(guī)技術(shù)利用一些材料由于其拉伸或應(yīng)變的變化而經(jīng)歷的電阻變化。在這里，該技術(shù)使用材料在經(jīng)歷不同壓力時(shí)的電導(dǎo)率變化并計(jì)算該差異，然后將其映射到壓力變化。

應(yīng)變儀是在膜上以Z字形圖案布置的長的導(dǎo)體。拉伸時(shí)，其阻力增加。應(yīng)變計(jì)安裝在與應(yīng)變相同的方向上，通常用四肢形成一個(gè)完整的“惠斯通電橋”。壓力傳感器可包含幾個(gè)類似的應(yīng)變儀元件。

2.光纖壓力傳感器

該技術(shù)利用光纖的特性來影響在光纖中傳播的光，使得它可以用于形成傳感器。壓力傳感器可以通過使用微型光纖干涉儀來檢測膜的納米級位移。還可以施加壓力以引起光纖損失以形成基于強(qiáng)度的傳感器。

3.機(jī)械撓度

該技術(shù)利用液體的機(jī)械特性來測量其壓力。例如，壓力對彈簧系統(tǒng)的影響和彈簧壓縮的變化可用于測量壓力。

4.半導(dǎo)體壓阻式

為了測量壓力，該技術(shù)使用由于壓力變化引起的半導(dǎo)體電導(dǎo)率的變化。

5.微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)

在這里，該技術(shù)將微電子技術(shù)與微型機(jī)械系統(tǒng)(如閥門和齒輪)結(jié)合在一起，所有這些都在使用納米技術(shù)測量壓力的單個(gè)半導(dǎo)體芯片上。

6.振動(dòng)元件(例如硅共振)

為了計(jì)算壓力，振動(dòng)元件用于測量由于壓力變化而在不同材料元件的分子水平上的振動(dòng)變化。

7.可變電容

由于壓力的變化以計(jì)算壓力，該技術(shù)利用由于電容器極板之間的距離的變化引起的電容變化。

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