

WUD-20 高純度傳感器
功能特點(diǎn):
高精度壓力測(cè)量0.15 % RSS
長期穩(wěn)定性
信號(hào)降噪和屏蔽
真空基準(zhǔn)壓力測(cè)量
主動(dòng)溫度補(bǔ)償
WUD-20 高純度傳感器
WUD-2x系列高純傳感器將先進(jìn)的傳感器理念與模擬輸出信號(hào)相結(jié)合,能夠?yàn)楫?dāng)前市場(chǎng)需求提供服務(wù)、準(zhǔn)確的壓力測(cè)量?;谡嬲婵栈鶞?zhǔn)的壓力測(cè)量技術(shù),加上帶干擾屏蔽及噪音消除的電子測(cè)量技術(shù),確保了高精度壓力測(cè)量以及優(yōu)異的長期穩(wěn)定性。主動(dòng)溫度補(bǔ)償可降低溫度變化對(duì)傳感器的影響,即使在溫度變化很大的應(yīng)用中仍然能夠很好使用,如氣體膨脹時(shí)的焦耳湯姆遜效應(yīng)。
多用途
WUD-2x可輕松安裝于“on-tool”配氣系統(tǒng)中。明亮的LED顯示屏可旋轉(zhuǎn),因此可從任意位置輕松查看讀數(shù)。
配備2個(gè)可編程開關(guān)輸出,可針對(duì)具體應(yīng)用進(jìn)行監(jiān)測(cè)及控制。
結(jié)構(gòu)緊湊
WUD-2x為緊湊型UHP傳感器,夠用于安裝空間狹小的場(chǎng)合,甚至可輕松對(duì)現(xiàn)有裝置進(jìn)行改裝。
產(chǎn)品信息
型號(hào) | WUD-20 |
性能描述 | 能夠?yàn)楫?dāng)前市場(chǎng)需求提供服務(wù)、準(zhǔn)確的壓力測(cè)量。基于真正真空基準(zhǔn)的壓力測(cè)量技術(shù) |
電源供應(yīng) | DC 10 ... 30 V(輸出信號(hào)4 ... 20mA和DC0 ... 5V) DC 14 ... 30 V(帶輸出信號(hào)DC0 ... 10V) |
測(cè)量范圍 | 0 ...6 MPa(kPa) |
工作溫度 | -20 + 100℃[-4 ... + 212°F] |
輸出信號(hào) | 4-20(mA)/ 0-10V |
量程范圍 | 30-1800psi |
非線性度 | 0.5% |
應(yīng)用 | 半導(dǎo)體、平板顯示器和光伏行業(yè) 用于為半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)供應(yīng)高純氣體 |

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