電容式加速度傳感器

加速度傳感器是一種能夠測量加速度力的設備，加速度力就是當物體在加速度過程中在物體上的力;比如地球引力、汽車加速時候的力、電梯上下的時候這些都是加速度力。

現(xiàn)代科技要求加速度傳感器應用在很多領域比如：軍工、空間系統(tǒng)、科學測量等領域需要使用體積小、重量輕、性能穩(wěn)定的加速度傳感器。

以傳統(tǒng)加工方法制造的加速度傳感器難以全面滿足這些要求，于是應用新興的微機械加工技術(shù)制作的微加速度傳感器應運而生。

這種傳感器體積小、重量輕、功耗小、啟動快、成本低、可靠性高、易于實現(xiàn)數(shù)字化和智能化。由于微機械結(jié)構(gòu)制作精準重復性好、易于集成化、適于大批量生產(chǎn)，它的性能價格比很高它將在加速度傳感器市場中占主導地位。

加速度傳感器按工作原理可分為幾種類別：

電容式加速度傳感器

電阻式加速度傳感器

壓電式加速度傳感器

按照不同工作場景需求應用相對應的加速計。

電容式加速度傳感器其結(jié)構(gòu)形式一般也采用彈簧質(zhì)量系統(tǒng)。當質(zhì)量受加速度作用運動而改變質(zhì)量塊與固定電極之間的間隙進而使電容值變化。電容式加速度計與其它類型的加速度傳感器相比具有靈敏度高、零頻響應、環(huán)境適應性好等特點，尤其是受溫度的影響比較??；但不足之處表現(xiàn)在信號的輸入與輸出為非線性，量程有限，受電纜的電容影響，以及電容傳感器本身是高阻抗信號源，因此電容傳感器的輸出信號往往需通過后繼電路給于改善。在實際應用中電容式加速度傳感器較多地用于低頻測量，其通用性不如壓電式加速度傳感器，且成本也比壓電式加速度傳感器高得多。

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